VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
n-Si (P: 10e14) wafer after (NH4)2S soln treatment
1
grazing X-rays , native oxide, no ion etching
NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5
grazing X-rays , native oxide, no ion etching
n-Si (P: 10e14) wafer after (NH4)2S soln treatment
2003
5
10
15
33
18
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.75
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1100
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
2
4.00E-06
0
0
0
0
2202
4
10552
0.0603073
0.397444
311
0.397444
334
0.396009
328
0.394583
323
0.393166
305
0.391757
348
0.390357
342
0.388966
341
0.387583
331
0.386209
352
0.384843
297
0.383485
377
0.382135
328
0.380794
324
0.37946
336
0.378135
329
0.376817
311
0.375508
330
0.374206
371
0.372911
320
0.371625
368
0.370346
347
0.369075
391
0.367811
360
0.366554
367
0.365305
343
0.364063
350
0.362828
355
0.361601
393
0.36038
379
0.359167
344
0.35796
404
0.356761
388
0.355568
405
0.354383
383
0.353204
340
0.352031
372
0.350866
377
0.349706
416
0.348554
391
0.347408
367
0.346268
408
0.345135
388
0.344008
429
0.342888
395
0.341773
434
0.340665
445
0.339563
420
0.338468
413
0.337378
440
0.336294
424
0.335216
460
0.334144
450
0.333078
420
0.332018
427
0.330963
452
0.329914
462
0.328871
435
0.327834
459
0.326802
454
0.325776
448
0.324755
461
0.32374
490
0.32273
464
0.321725
460
0.320726
486
0.319732
462
0.318744
515
0.31776
533
0.316782
531
0.315809
543
0.314841
530
0.313879
555
0.312921
505
0.311968
573
0.31102
570
0.310077
583
0.309139
583
0.308206
601
0.307278
559
0.306354
547
0.305435
605
0.304521
597
0.303612
644
0.302707
598
0.301807
608
0.300911
621
0.30002
605
0.299134
621
0.298252
624
0.297374
617
0.296501
657
0.295632
642
0.294768
716
0.293908
739
0.293052
708
0.2922
782
0.291353
810
0.29051
768
0.289671
842
0.288836
854
0.288006
783
0.287179
767
0.286357
791
0.285538
730
0.284724
750
0.283913
727
0.283106
727
0.282304
698
0.281505
758
0.28071
741
0.279919
804
0.279132
686
0.278348
801
0.277569
815
0.276793
871
0.276021
975
0.275252
1086
0.274487
1093
0.273726
1213
0.272968
1343
0.272214
1269
0.271464
1178
0.270717
1073
0.269973
982
0.269233
860
0.268497
742
0.267764
718
0.267034
691
0.266308
633
0.265585
579
0.264866
502
0.26415
516
0.263437
461
0.262727
461
0.262021
428
0.261318
428
0.260618
489
0.259922
455
0.259228
454
0.258538
475
0.257851
446
0.257167
433
0.256486
489
0.255808
456
0.255134
478
0.254462
429
0.253793
461
0.253128
439
0.252465
457
0.251805
451
0.251149
465
0.250495
488
0.249844
467
0.249196
482
0.248551
484
0.247909
469
0.247269
455
0.246633
518
0.245999
474
0.245368
475
0.24474
520
0.244114
491
0.243492
459
0.242872
478
0.242254
511
0.24164
494
0.241028
496
0.240418
505
0.239812
494
0.239208
473
0.238606
486
0.238007
501
0.237411
481
0.236817
483
0.236226
480
0.235637
489
0.235051
465
0.234467
535
0.233886
523
0.233308
493
0.232731
505
0.232157
519
0.231586
551
0.231017
524
0.23045
562
0.229886
482
0.229324
522
0.228765
516
0.228208
526
0.227653
550
0.2271
543
0.22655
558
0.226002
517
0.225456
539
0.224913
532
0.224372
552
0.223833
558
0.223296
559
0.222761
541
0.222229
523
0.221699
539
0.221171
544
0.220645
559
0.220121
539
0.219599
527
0.21908
570
0.218563
518
0.218047
539
0.217534
564
0.217023
593
0.216514
551
0.216007
565
0.215502
591
0.214999
618
0.214498
552
0.213999
539
0.213502
538
0.213007
579
0.212514
587
0.212022
576
0.211533
584
0.211046
573
0.210561
606
0.210077
639
0.209596
598
0.209116
593
0.208638
592
0.208163
585
0.207688
599
0.207216
608
0.206746
595
0.206277
568
0.205811
585
0.205346
575
0.204883
596
0.204422
593
0.203962
577
0.203504
624
0.203048
633
0.202594
656
0.202141
614
0.201691
565
0.201242
634
0.200794
592
0.200349
637
0.199905
624
0.199462
663
0.199022
635
0.198583
607
0.198146
599
0.19771
606
0.197276
622
0.196844
634
0.196413
663
0.195984
590
0.195556
690
0.19513
621
0.194706
604
0.194283
631
0.193862
680
0.193443
624
0.193024
683
0.192608
703
0.192193
637
0.19178
610
0.191368
656
0.190957
688
0.190548
731
0.190141
677
0.189735
730
0.189331
671
0.188928
673
0.188526
673
0.188126
694
0.187728
631
0.18733
668
0.186935
692
0.18654
669
0.186148
677
0.185756
692
0.185366
659
0.184978
703
0.18459
733
0.184205
675
0.18382
700
0.183437
705
0.183055
702
0.182675
744
0.182296
748
0.181918
773
0.181542
764
0.181167
645
0.180793
715
0.180421
773
0.18005
761
0.17968
701
0.179312
723
0.178945
705
0.178579
702
0.178214
728
0.177851
800
0.177489
724
0.177128
706
0.176769
753
0.176411
715
0.176054
718
0.175698
740
0.175343
760
0.17499
745
0.174638
751
0.174287
778
0.173937
782
0.173589
741
0.173242
728
0.172896
778
0.172551
736
0.172207
772
0.171864
737
0.171523
790
0.171183
771
0.170844
777
0.170506
746
0.170169
801
0.169833
782
0.169499
783
0.169165
768
0.168833
750
0.168502
806
0.168172
827
0.167843
771
0.167515
761
0.167189
832
0.166863
800
0.166538
786
0.166215
760
0.165893
807
0.165571
795
0.165251
809
0.164932
836
0.164614
792
0.164297
830
0.163981
791
0.163666
746
0.163352
831
0.163039
802
0.162727
825
0.162416
789
0.162106
849
0.161797
871
0.161489
849
0.161182
886
0.160877
846
0.160572
863
0.160268
825
0.159965
852
0.159663
838
0.159362
886
0.159062
842
0.158763
818
0.158465
854
0.158168
849
0.157872
851
0.157577
874
0.157283
838
0.156989
869
0.156697
897
0.156406
839
0.156115
898
0.155825
946
0.155537
854
0.155249
863
0.154962
871
0.154676
885
0.154391
899
0.154107
966
0.153824
905
0.153542
868
0.15326
850
0.15298
934
0.1527
911
0.152421
940
0.152143
843
0.151866
959
0.15159
896
0.151315
971
0.15104
1024
0.150767
935
0.150494
962
0.150222
980
0.149951
915
0.149681
928
0.149411
1002
0.149143
953
0.148875
934
0.148608
949
0.148342
918
0.148077
924
0.147812
972
0.147548
956
0.147285
951
0.147023
1005
0.146762
954
0.146502
971
0.146242
875
0.145983
921
0.145725
984
0.145468
981
0.145211
955
0.144955
958
0.1447
1023
0.144446
1058
0.144193
1030
0.14394
1022
0.143688
1026
0.143437
967
0.143186
1007
0.142937
960
0.142688
1028
0.142439
985
0.142192
1007
0.141945
1032
0.141699
976
0.141454
997
0.141209
1070
0.140965
1047
0.140722
1072
0.14048
999
0.140238
1066
0.139997
1006
0.139757
990
0.139518
1063
0.139279
1002
0.139041
1075
0.138803
1076
0.138566
1073
0.13833
1093
0.138095
1048
0.13786
1033
0.137626
1074
0.137393
1002
0.13716
1100
0.136928
1078
0.136697
1132
0.136466
1116
0.136236
1140
0.136007
1106
0.135779
1053
0.135551
1080
0.135323
1075
0.135097
1130
0.134871
1086
0.134645
1087
0.13442
1147
0.134196
1141
0.133973
1150
0.13375
1100
0.133528
1131
0.133306
1061
0.133085
1119
0.132865
1089
0.132645
1086
0.132426
1128
0.132208
1146
0.13199
1153
0.131773
1136
0.131556
1150
0.13134
1201
0.131125
1205
0.13091
1167
0.130696
1157
0.130483
1148
0.13027
1214
0.130057
1216
0.129846
1226
0.129634
1213
0.129424
1242
0.129214
1195
0.129004
1272
0.128795
1229
0.128587
1191
0.12838
1264
0.128172
1269
0.127966
1226
0.12776
1226
0.127555
1197
0.12735
1255
0.127145
1255
0.126942
1259
0.126739
1276
0.126536
1205
0.126334
1276
0.126132
1280
0.125931
1315
0.125731
1289
0.125531
1312
0.125332
1324
0.125133
1279
0.124935
1332
0.124737
1324
0.12454
1296
0.124344
1349
0.124147
1337
0.123952
1288
0.123757
1339
0.123562
1414
0.123368
1376
0.123175
1438
0.122982
1383
0.12279
1364
0.122598
1396
0.122406
1383
0.122215
1442
0.122025
1449
0.121835
1482
0.121646
1451
0.121457
1419
0.121269
1459
0.121081
1478
0.120893
1551
0.120707
1507
0.12052
1460
0.120334
1558
0.120149
1512
0.119964
1554
0.11978
1491
0.119596
1554
0.119412
1552
0.119229
1604
0.119047
1534
0.118865
1571
0.118683
1649
0.118502
1598
0.118322
1592
0.118142
1587
0.117962
1694
0.117783
1624
0.117604
1767
0.117426
1750
0.117248
1784
0.117071
1779
0.116894
1821
0.116718
1807
0.116542
1807
0.116366
1797
0.116191
1875
0.116017
1817
0.115843
1693
0.115669
1711
0.115496
1668
0.115323
1678
0.115151
1596
0.114979
1722
0.114807
1641
0.114636
1547
0.114466
1531
0.114295
1497
0.114126
1418
0.113956
1484
0.113788
1454
0.113619
1469
0.113451
1429
0.113284
1438
0.113116
1501
0.11295
1788
0.112783
3346
0.112617
8728
0.112452
10552
0.112287
4668
0.112122
1766
0.111958
1470
0.111794
1366
0.111631
1350
0.111468
1268
0.111305
1351
0.111143
1309
0.110981
1254
0.11082
1305
0.110659
1307
0.110498
1305
0.110338
1279
0.110178
1276
0.110019
1308
0.10986
1282
0.109701
1265
0.109543
1281
0.109385
1295
0.109228
1309
0.109071
1292
0.108914
1277
0.108758
1275
0.108602
1330
0.108447
1347
0.108292
1328
0.108137
1249
0.107982
1319
0.107829
1342
0.107675
1351
0.107522
1376
0.107369
1254
0.107216
1339
0.107064
1339
0.106912
1314
0.106761
1320
0.10661
1392
0.106459
1378
0.106309
1252
0.106159
1278
0.10601
1341
0.105861
1344
0.105712
1328
0.105563
1357
0.105415
1358
0.105267
1329
0.10512
1401
0.104973
1324
0.104826
1369
0.10468
1298
0.104534
1338
0.104388
1346
0.104243
1367
0.104098
1332
0.103953
1424
0.103809
1381
0.103665
1428
0.103522
1362
0.103378
1365
0.103235
1337
0.103093
1352
0.102951
1357
0.102809
1358
0.102667
1391
0.102526
1376
0.102385
1429
0.102245
1392
0.102104
1362
0.101964
1334
0.101825
1408
0.101686
1418
0.101547
1422
0.101408
1451
0.10127
1399
0.101132
1368
0.100994
1369
0.100857
1419
0.10072
1474
0.100583
1362
0.100447
1365
0.100311
1371
0.100175
1430
0.10004
1390
0.0999048
1377
0.09977
1400
0.0996356
1449
0.0995014
1444
0.0993676
1373
0.099234
1434
0.0991008
1493
0.0989679
1454
0.0988353
1451
0.098703
1503
0.098571
1444
0.0984393
1464
0.0983079
1473
0.0981767
1518
0.0980459
1491
0.0979154
1431
0.0977852
1481
0.0976553
1483
0.0975257
1510
0.0973964
1454
0.0972674
1498
0.0971386
1507
0.0970102
1481
0.096882
1506
0.0967542
1467
0.0966266
1514
0.0964993
1474
0.0963723
1481
0.0962456
1477
0.0961192
1492
0.095993
1459
0.0958672
1539
0.0957416
1497
0.0956163
1476
0.0954913
1489
0.0953666
1522
0.0952421
1553
0.095118
1537
0.0949941
1493
0.0948704
1532
0.0947471
1638
0.094624
1454
0.0945012
1588
0.0943787
1553
0.0942564
1541
0.0941345
1553
0.0940128
1569
0.0938913
1572
0.0937701
1619
0.0936492
1647
0.0935286
1532
0.0934082
1626
0.0932881
1567
0.0931683
1638
0.0930487
1620
0.0929294
1557
0.0928103
1600
0.0926915
1491
0.092573
1609
0.0924547
1563
0.0923367
1519
0.092219
1646
0.0921015
1591
0.0919842
1661
0.0918672
1543
0.0917505
1544
0.091634
1584
0.0915178
1564
0.0914018
1564
0.0912861
1626
0.0911707
1606
0.0910554
1559
0.0909405
1614
0.0908257
1575
0.0907113
1558
0.090597
1616
0.0904831
1583
0.0903693
1655
0.0902558
1639
0.0901426
1673
0.0900296
1602
0.0899168
1605
0.0898043
1592
0.089692
1605
0.08958
1622
0.0894682
1637
0.0893567
1619
0.0892453
1656
0.0891343
1720
0.0890234
1687
0.0889128
1630
0.0888024
1729
0.0886923
1578
0.0885824
1616
0.0884727
1682
0.0883633
1661
0.0882541
1662
0.0881451
1687
0.0880364
1689
0.0879279
1682
0.0878196
1666
0.0877115
1682
0.0876037
1643
0.0874961
1637
0.0873887
1696
0.0872815
1746
0.0871746
1648
0.0870679
1656
0.0869614
1673
0.0868552
1677
0.0867492
1666
0.0866434
1712
0.0865378
1739
0.0864324
1765
0.0863272
1622
0.0862223
1723
0.0861176
1760
0.0860131
1713
0.0859088
1722
0.0858048
1752
0.0857009
1801
0.0855973
1769
0.0854939
1754
0.0853907
1780
0.0852877
1836
0.0851849
1773
0.0850824
1728
0.08498
1737
0.0848779
1807
0.0847759
1793
0.0846742
1781
0.0845727
1808
0.0844714
1750
0.0843703
1807
0.0842694
1802
0.0841688
1801
0.0840683
1867
0.083968
1783
0.0838679
1825
0.0837681
1807
0.0836684
1829
0.083569
1863
0.0834697
1898
0.0833707
1825
0.0832718
1864
0.0831732
1842
0.0830747
1863
0.0829765
1827
0.0828784
1842
0.0827806
1906
0.0826829
1839
0.0825855
1853
0.0824882
1801
0.0823912
1824
0.0822943
1794
0.0821976
1879
0.0821012
1814
0.0820049
1935
0.0819088
1825
0.0818129
1945
0.0817172
2033
0.0816217
2284
0.0815264
2651
0.0814312
3064
0.0813363
2580
0.0812415
1921
0.081147
1807
0.0810526
1862
0.0809584
1917
0.0808644
1887
0.0807706
1892
0.080677
1867
0.0805835
1893
0.0804903
1946
0.0803972
1952
0.0803043
1949
0.0802116
1901
0.0801191
1918
0.0800268
1948
0.0799346
1897
0.0798427
1887
0.0797509
1934
0.0796593
2014
0.0795678
1902
0.0794766
1994
0.0793855
1973
0.0792946
2011
0.0792039
1900
0.0791134
1951
0.079023
2040
0.0789329
2010
0.0788429
2052
0.078753
1990
0.0786634
1996
0.0785739
2067
0.0784846
2052
0.0783955
1988
0.0783065
2025
0.0782177
2077
0.0781291
1999
0.0780407
1942
0.0779524
2089
0.0778643
2052
0.0777764
2057
0.0776886
2094
0.0776011
2122
0.0775136
2088
0.0774264
2033
0.0773393
2122
0.0772524
2193
0.0771657
2122
0.0770791
2229
0.0769927
2160
0.0769064
2202
0.0768203
2234
0.0767344
2140
0.0766487
2182
0.0765631
2183
0.0764777
2221
0.0763924
2216
0.0763073
2153
0.0762224
2260
0.0761376
2321
0.076053
2262
0.0759685
2265
0.0758842
2227
0.0758001
2325
0.0757162
2414
0.0756323
2451
0.0755487
2345
0.0754652
2386
0.0753819
2454
0.0752987
2472
0.0752157
2354
0.0751328
2309
0.0750501
2305
0.0749675
2321
0.0748852
2437
0.0748029
2437
0.0747208
2414
0.0746389
2537
0.0745571
2486
0.0744755
2680
0.074394
2524
0.0743127
2568
0.0742315
2665
0.0741505
2655
0.0740697
2635
0.073989
2683
0.0739084
2607
0.073828
2528
0.0737477
2474
0.0736676
2520
0.0735877
2544
0.0735078
2548
0.0734282
2574
0.0733487
2523
0.0732693
2709
0.0731901
2641
0.073111
2846
0.0730321
2862
0.0729533
2885
0.0728746
3070
0.0727961
3095
0.0727178
2983
0.0726396
2857
0.0725615
2889
0.0724836
2690
0.0724059
2567
0.0723282
2543
0.0722507
2579
0.0721734
2472
0.0720962
2545
0.0720191
2625
0.0719422
2672
0.0718654
2741
0.0717888
2844
0.0717123
3040
0.0716359
3258
0.0715597
3760
0.0714836
4003
0.0714077
3825
0.0713319
3327
0.0712562
2986
0.0711807
2580
0.0711053
2355
0.07103
2134
0.0709549
2116
0.0708799
2127
0.0708051
1993
0.0707304
2041
0.0706558
2092
0.0705814
2322
0.0705071
2649
0.0704329
3165
0.0703588
3271
0.0702849
3830
0.0702112
7111
0.0701375
8054
0.070064
3564
0.0699906
2085
0.0699174
1778
0.0698443
1546
0.0697713
1491
0.0696984
1404
0.0696257
1430
0.0695531
1392
0.0694807
1416
0.0694083
1351
0.0693361
1464
0.0692641
1506
0.0691921
1506
0.0691203
1604
0.0690486
1657
0.068977
1778
0.0689056
1605
0.0688343
1622
0.0687631
1534
0.0686921
1386
0.0686211
1266
0.0685503
1255
0.0684796
1165
0.0684091
1227
0.0683386
1236
0.0682683
1257
0.0681982
1273
0.0681281
1324
0.0680582
1355
0.0679883
1559
0.0679187
1661
0.0678491
2135
0.0677796
2295
0.0677103
2287
0.0676411
2006
0.067572
1541
0.0675031
1120
0.0674342
925
0.0673655
828
0.0672969
779
0.0672284
690
0.0671601
640
0.0670918
658
0.0670237
595
0.0669557
635
0.0668878
1156
0.06682
1708
0.0667524
1281
0.0666849
1165
0.0666174
4353
0.0665501
7640
0.066483
2066
0.0664159
279
0.0663489
235
0.0662821
162
0.0662154
137
0.0661488
146
0.0660823
130
0.0660159
126
0.0659496
119
0.0658835
131
0.0658175
115
0.0657515
122
0.0656857
116
0.06562
113
0.0655545
133
0.065489
127
0.0654236
133
0.0653584
124
0.0652932
118
0.0652282
119
0.0651633
100
0.0650985
123
0.0650338
147
0.0649692
129
0.0649048
134
0.0648404
124
0.0647761
125
0.064712
124
0.064648
119
0.064584
130
0.0645202
137
0.0644565
133
0.0643929
133
0.0643294
138
0.064266
122
0.0642027
149
0.0641396
136
0.0640765
145
0.0640135
153
0.0639507
131
0.0638879
158
0.0638253
124
0.0637628
151
0.0637003
144
0.063638
158
0.0635758
127
0.0635136
127
0.0634516
141
0.0633897
144
0.0633279
159
0.0632662
166
0.0632046
147
0.0631431
174
0.0630817
164
0.0630204
185
0.0629592
169
0.0628981
161
0.0628371
139
0.0627762
174
0.0627155
149
0.0626548
149
0.0625942
147
0.0625337
140
0.0624733
154
0.062413
188
0.0623528
158
0.0622928
163
0.0622328
153
0.0621729
219
0.0621131
217
0.0620534
251
0.0619938
282
0.0619343
385
0.0618749
381
0.0618156
355
0.0617564
233
0.0616973
159
0.0616383
137
0.0615794
165
0.0615206
130
0.0614619
113
0.0614032
95
0.0613447
98
0.0612863
113
0.0612279
146
0.0611697
157
0.0611115
165
0.0610535
204
0.0609955
195
0.0609377
217
0.0608799
216
0.0608222
197
0.0607647
168
0.0607072
122
0.0606498
142
0.0605925
163
0.0605353
111
0.0604781
50
0.0604211
14
0.0603642
4
0.0603073
grazing X-rays , native oxide, no ion etching
n-Si (P: 10e14) wafer after (NH4)2S soln treatment
2003
5
10
15
33
20
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.75
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
20
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
602
4
1210
0.059744
0.0614619
689
0.0614619
707
0.061456
673
0.0614501
659
0.0614443
720
0.0614384
705
0.0614325
724
0.0614267
681
0.0614208
676
0.0614149
662
0.0614091
615
0.0614032
620
0.0613974
579
0.0613915
636
0.0613857
571
0.0613798
628
0.061374
616
0.0613681
658
0.0613622
623
0.0613564
595
0.0613506
595
0.0613447
535
0.0613389
511
0.061333
536
0.0613272
559
0.0613213
513
0.0613155
591
0.0613096
542
0.0613038
539
0.0612979
556
0.0612921
542
0.0612863
514
0.0612804
576
0.0612746
520
0.0612688
534
0.0612629
538
0.0612571
596
0.0612513
548
0.0612454
529
0.0612396
559
0.0612338
579
0.0612279
600
0.0612221
601
0.0612163
671
0.0612105
650
0.0612046
672
0.0611988
650
0.061193
630
0.0611872
682
0.0611813
636
0.0611755
684
0.0611697
719
0.0611639
721
0.0611581
704
0.0611522
752
0.0611464
731
0.0611406
722
0.0611348
777
0.061129
755
0.0611232
722
0.0611174
746
0.0611115
793
0.0611057
767
0.0610999
801
0.0610941
769
0.0610883
804
0.0610825
811
0.0610767
803
0.0610709
836
0.0610651
874
0.0610593
873
0.0610535
813
0.0610477
845
0.0610419
931
0.0610361
897
0.0610303
890
0.0610245
916
0.0610187
911
0.0610129
944
0.0610071
974
0.0610013
944
0.0609955
953
0.0609897
992
0.060984
1012
0.0609782
967
0.0609724
1030
0.0609666
995
0.0609608
1007
0.060955
1039
0.0609492
1012
0.0609435
1077
0.0609377
1107
0.0609319
1025
0.0609261
1054
0.0609203
1039
0.0609146
1018
0.0609088
1119
0.060903
1100
0.0608972
1115
0.0608915
1026
0.0608857
1112
0.0608799
1112
0.0608741
1045
0.0608684
1072
0.0608626
1095
0.0608568
1076
0.0608511
987
0.0608453
1107
0.0608395
1059
0.0608338
1158
0.060828
1065
0.0608222
1032
0.0608165
1098
0.0608107
1133
0.0608049
1117
0.0607992
1138
0.0607934
1153
0.0607877
1170
0.0607819
1148
0.0607762
1209
0.0607704
1195
0.0607647
1195
0.0607589
1203
0.0607531
1207
0.0607474
1161
0.0607416
1210
0.0607359
1088
0.0607301
1089
0.0607244
1089
0.0607187
1077
0.0607129
1011
0.0607072
951
0.0607014
874
0.0606957
909
0.0606899
857
0.0606842
799
0.0606785
779
0.0606727
808
0.060667
708
0.0606612
722
0.0606555
665
0.0606498
685
0.060644
717
0.0606383
656
0.0606326
639
0.0606268
654
0.0606211
611
0.0606154
616
0.0606096
639
0.0606039
632
0.0605982
676
0.0605925
711
0.0605867
688
0.060581
666
0.0605753
714
0.0605696
732
0.0605639
713
0.0605581
720
0.0605524
717
0.0605467
778
0.060541
748
0.0605353
719
0.0605295
736
0.0605238
705
0.0605181
710
0.0605124
719
0.0605067
742
0.060501
719
0.0604953
688
0.0604896
652
0.0604838
620
0.0604781
638
0.0604724
625
0.0604667
641
0.060461
579
0.0604553
553
0.0604496
513
0.0604439
488
0.0604382
428
0.0604325
414
0.0604268
416
0.0604211
335
0.0604154
354
0.0604097
300
0.060404
253
0.0603983
233
0.0603926
229
0.0603869
173
0.0603813
145
0.0603756
137
0.0603699
92
0.0603642
103
0.0603585
91
0.0603528
67
0.0603471
63
0.0603414
53
0.0603358
41
0.0603301
39
0.0603244
35
0.0603187
24
0.060313
25
0.0603073
21
0.0603017
26
0.060296
28
0.0602903
28
0.0602846
28
0.060279
20
0.0602733
21
0.0602676
13
0.0602619
17
0.0602563
26
0.0602506
21
0.0602449
24
0.0602393
20
0.0602336
17
0.0602279
21
0.0602223
20
0.0602166
17
0.0602109
18
0.0602053
10
0.0601996
14
0.0601939
16
0.0601883
11
0.0601826
17
0.060177
17
0.0601713
10
0.0601656
12
0.06016
16
0.0601543
12
0.0601487
4
0.060143
13
0.0601374
12
0.0601317
14
0.0601261
16
0.0601204
13
0.0601148
13
0.0601091
12
0.0601035
14
0.0600978
10
0.0600922
9
0.0600865
10
0.0600809
8
0.0600753
13
0.0600696
14
0.060064
16
0.0600583
7
0.0600527
7
0.0600471
18
0.0600414
10
0.0600358
19
0.0600302
18
0.0600245
16
0.0600189
11
0.0600133
18
0.0600076
8
0.060002
11
0.0599964
9
0.0599907
11
0.0599851
19
0.0599795
13
0.0599738
8
0.0599682
8
0.0599626
11
0.059957
9
0.0599514
7
0.0599457
15
0.0599401
21
0.0599345
5
0.0599289
15
0.0599233
15
0.0599176
13
0.059912
11
0.0599064
4
0.0599008
17
0.0598952
12
0.0598896
10
0.059884
12
0.0598783
13
0.0598727
4
0.0598671
8
0.0598615
9
0.0598559
11
0.0598503
11
0.0598447
12
0.0598391
9
0.0598335
13
0.0598279
10
0.0598223
8
0.0598167
7
0.0598111
15
0.0598055
9
0.0597999
8
0.0597943
13
0.0597887
10
0.0597831
9
0.0597775
12
0.0597719
8
0.0597663
6
0.0597607
5
0.0597551
16
0.0597495
10
0.059744
grazing X-rays , native oxide, no ion etching
n-Si (P: 10e14) wafer after (NH4)2S soln treatment
2003
5
10
15
33
20
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
538
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
1642
0.208638
0.210837
45
0.210837
24
0.210826
64
0.210815
40
0.210804
61
0.210793
39
0.210781
42
0.21077
40
0.210759
48
0.210748
25
0.210737
31
0.210726
42
0.210715
29
0.210704
34
0.210693
53
0.210682
50
0.21067
49
0.210659
30
0.210648
29
0.210637
50
0.210626
57
0.210615
84
0.210604
42
0.210593
33
0.210582
52
0.210571
39
0.21056
51
0.210548
48
0.210537
53
0.210526
59
0.210515
30
0.210504
48
0.210493
45
0.210482
54
0.210471
67
0.21046
50
0.210449
61
0.210438
21
0.210427
49
0.210416
49
0.210405
64
0.210393
33
0.210382
50
0.210371
58
0.21036
34
0.210349
48
0.210338
77
0.210327
65
0.210316
89
0.210305
77
0.210294
45
0.210283
79
0.210272
78
0.210261
63
0.21025
61
0.210239
75
0.210228
86
0.210217
69
0.210205
69
0.210194
126
0.210183
133
0.210172
130
0.210161
129
0.21015
139
0.210139
147
0.210128
187
0.210117
171
0.210106
205
0.210095
221
0.210084
234
0.210073
281
0.210062
288
0.210051
318
0.21004
394
0.210029
373
0.210018
439
0.210007
435
0.209996
538
0.209985
568
0.209974
607
0.209963
635
0.209952
743
0.209941
785
0.20993
871
0.209919
935
0.209908
1035
0.209897
1029
0.209886
1108
0.209875
1203
0.209864
1246
0.209853
1373
0.209842
1380
0.209831
1433
0.20982
1517
0.209809
1505
0.209798
1564
0.209787
1601
0.209776
1604
0.209765
1589
0.209754
1642
0.209743
1544
0.209732
1603
0.209721
1535
0.20971
1485
0.209699
1448
0.209688
1328
0.209677
1316
0.209666
1268
0.209655
1155
0.209644
1080
0.209633
958
0.209622
961
0.209611
902
0.2096
852
0.209589
790
0.209578
689
0.209567
645
0.209556
600
0.209545
505
0.209534
503
0.209523
503
0.209512
431
0.209501
372
0.20949
325
0.209479
279
0.209468
291
0.209457
259
0.209446
221
0.209435
210
0.209424
163
0.209413
172
0.209402
140
0.209391
139
0.20938
139
0.209369
99
0.209358
96
0.209347
101
0.209336
79
0.209325
69
0.209314
75
0.209304
67
0.209293
78
0.209282
53
0.209271
62
0.20926
80
0.209249
28
0.209238
38
0.209227
44
0.209216
52
0.209205
31
0.209194
36
0.209183
36
0.209172
10
0.209161
41
0.20915
20
0.209139
42
0.209128
56
0.209118
42
0.209107
53
0.209096
28
0.209085
28
0.209074
44
0.209063
24
0.209052
17
0.209041
27
0.20903
24
0.209019
38
0.209008
30
0.208997
29
0.208986
5
0.208975
30
0.208965
33
0.208954
7
0.208943
29
0.208932
14
0.208921
48
0.20891
45
0.208899
19
0.208888
39
0.208877
49
0.208866
39
0.208855
17
0.208845
47
0.208834
58
0.208823
19
0.208812
21
0.208801
15
0.20879
48
0.208779
32
0.208768
0
0.208757
37
0.208746
20
0.208736
27
0.208725
13
0.208714
46
0.208703
34
0.208692
55
0.208681
31
0.20867
38
0.208659
31
0.208648
22
0.208638
grazing X-rays , native oxide, no ion etching
n-Si (P: 10e14) wafer after (NH4)2S soln treatment
2003
5
10
15
33
20
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
290
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
442
0.165755
0.16714
58
0.16714
69
0.167133
48
0.167126
97
0.167119
96
0.167112
86
0.167105
64
0.167098
69
0.167091
51
0.167084
23
0.167077
60
0.16707
61
0.167063
50
0.167056
13
0.167049
25
0.167043
34
0.167036
68
0.167029
57
0.167022
72
0.167015
82
0.167008
56
0.167001
60
0.166994
86
0.166987
65
0.16698
37
0.166973
48
0.166966
58
0.166959
59
0.166952
72
0.166945
74
0.166938
75
0.166931
88
0.166924
93
0.166917
88
0.16691
133
0.166903
69
0.166896
83
0.166889
77
0.166882
90
0.166875
106
0.166868
110
0.166861
123
0.166854
85
0.166847
131
0.16684
151
0.166834
135
0.166827
113
0.16682
146
0.166813
173
0.166806
96
0.166799
136
0.166792
125
0.166785
147
0.166778
174
0.166771
145
0.166764
223
0.166757
146
0.16675
199
0.166743
147
0.166736
155
0.166729
97
0.166722
169
0.166715
148
0.166708
186
0.166701
165
0.166694
180
0.166688
196
0.166681
157
0.166674
149
0.166667
175
0.16666
178
0.166653
201
0.166646
204
0.166639
203
0.166632
232
0.166625
217
0.166618
231
0.166611
261
0.166604
276
0.166597
248
0.16659
311
0.166583
319
0.166576
337
0.16657
358
0.166563
307
0.166556
385
0.166549
378
0.166542
365
0.166535
442
0.166528
357
0.166521
352
0.166514
391
0.166507
382
0.1665
321
0.166493
329
0.166486
331
0.166479
302
0.166472
371
0.166466
267
0.166459
287
0.166452
248
0.166445
246
0.166438
182
0.166431
200
0.166424
141
0.166417
132
0.16641
169
0.166403
147
0.166396
134
0.166389
93
0.166382
130
0.166376
92
0.166369
78
0.166362
95
0.166355
57
0.166348
67
0.166341
68
0.166334
46
0.166327
42
0.16632
59
0.166313
77
0.166306
52
0.166299
73
0.166293
48
0.166286
51
0.166279
42
0.166272
100
0.166265
36
0.166258
29
0.166251
0
0.166244
37
0.166237
12
0.16623
52
0.166223
11
0.166216
42
0.16621
57
0.166203
57
0.166196
40
0.166189
46
0.166182
8
0.166175
3
0.166168
42
0.166161
28
0.166154
77
0.166147
35
0.166141
28
0.166134
66
0.166127
18
0.16612
87
0.166113
39
0.166106
53
0.166099
62
0.166092
49
0.166085
33
0.166078
54
0.166072
36
0.166065
27
0.166058
46
0.166051
7
0.166044
31
0.166037
37
0.16603
53
0.166023
64
0.166016
46
0.16601
51
0.166003
40
0.165996
61
0.165989
31
0.165982
80
0.165975
31
0.165968
20
0.165961
44
0.165954
26
0.165948
34
0.165941
56
0.165934
82
0.165927
56
0.16592
27
0.165913
63
0.165906
44
0.165899
23
0.165893
41
0.165886
24
0.165879
39
0.165872
23
0.165865
49
0.165858
34
0.165851
53
0.165844
16
0.165837
40
0.165831
56
0.165824
68
0.165817
63
0.16581
41
0.165803
3
0.165796
71
0.165789
26
0.165782
39
0.165776
45
0.165769
38
0.165762
48
0.165755
grazing X-rays , native oxide, no ion etching
n-Si (P: 10e14) wafer after (NH4)2S soln treatment
2003
5
10
15
33
21
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
109
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
50
4.00E-06
0
0
0
0
562
83
13150
0.143719
0.14518
548
0.14518
590
0.145175
583
0.145169
557
0.145164
530
0.145159
560
0.145154
514
0.145148
527
0.145143
540
0.145138
548
0.145133
522
0.145127
520
0.145122
489
0.145117
559
0.145112
506
0.145106
512
0.145101
544
0.145096
527
0.145091
522
0.145085
499
0.14508
539
0.145075
548
0.145069
523
0.145064
533
0.145059
510
0.145054
521
0.145048
526
0.145043
549
0.145038
536
0.145033
547
0.145027
507
0.145022
477
0.145017
505
0.145012
496
0.145006
509
0.145001
532
0.144996
505
0.144991
547
0.144985
508
0.14498
491
0.144975
479
0.14497
481
0.144964
479
0.144959
506
0.144954
504
0.144949
501
0.144943
515
0.144938
484
0.144933
458
0.144928
516
0.144922
486
0.144917
459
0.144912
448
0.144907
486
0.144901
443
0.144896
465
0.144891
473
0.144886
498
0.14488
427
0.144875
446
0.14487
451
0.144865
441
0.144859
448
0.144854
462
0.144849
469
0.144844
463
0.144838
460
0.144833
433
0.144828
488
0.144823
504
0.144817
486
0.144812
510
0.144807
500
0.144802
470
0.144796
503
0.144791
503
0.144786
573
0.144781
599
0.144775
621
0.14477
613
0.144765
630
0.14476
706
0.144754
711
0.144749
769
0.144744
757
0.144739
855
0.144734
925
0.144728
963
0.144723
1026
0.144718
1070
0.144713
1069
0.144707
1161
0.144702
1243
0.144697
1256
0.144692
1348
0.144686
1407
0.144681
1528
0.144676
1547
0.144671
1574
0.144665
1688
0.14466
1702
0.144655
1671
0.14465
1720
0.144645
1789
0.144639
1780
0.144634
1757
0.144629
1780
0.144624
1702
0.144618
1653
0.144613
1719
0.144608
1751
0.144603
1587
0.144597
1677
0.144592
1590
0.144587
1535
0.144582
1464
0.144577
1347
0.144571
1327
0.144566
1227
0.144561
1180
0.144556
1164
0.14455
1049
0.144545
1024
0.14454
969
0.144535
915
0.14453
897
0.144524
858
0.144519
803
0.144514
751
0.144509
787
0.144503
665
0.144498
659
0.144493
660
0.144488
656
0.144483
581
0.144477
604
0.144472
588
0.144467
560
0.144462
562
0.144456
550
0.144451
539
0.144446
533
0.144441
498
0.144436
543
0.14443
519
0.144425
573
0.14442
554
0.144415
541
0.14441
577
0.144404
571
0.144399
571
0.144394
590
0.144389
683
0.144383
660
0.144378
708
0.144373
817
0.144368
764
0.144363
846
0.144357
903
0.144352
967
0.144347
1040
0.144342
1109
0.144337
1245
0.144331
1373
0.144326
1562
0.144321
1867
0.144316
2151
0.144311
2510
0.144305
2958
0.1443
3483
0.144295
4204
0.14429
4905
0.144285
5681
0.144279
6689
0.144274
7516
0.144269
8017
0.144264
8682
0.144259
8605
0.144253
8718
0.144248
8352
0.144243
7948
0.144238
8238
0.144233
8272
0.144227
8971
0.144222
10092
0.144217
11148
0.144212
12305
0.144207
12974
0.144201
13150
0.144196
13013
0.144191
11878
0.144186
10277
0.144181
8172
0.144175
6001
0.14417
4321
0.144165
2908
0.14416
1941
0.144155
1228
0.144149
851
0.144144
649
0.144139
532
0.144134
415
0.144129
315
0.144123
327
0.144118
278
0.144113
245
0.144108
210
0.144103
218
0.144097
187
0.144092
176
0.144087
174
0.144082
170
0.144077
148
0.144071
151
0.144066
126
0.144061
149
0.144056
150
0.144051
150
0.144046
122
0.14404
133
0.144035
141
0.14403
135
0.144025
128
0.14402
132
0.144014
129
0.144009
136
0.144004
103
0.143999
128
0.143994
143
0.143988
117
0.143983
136
0.143978
113
0.143973
103
0.143968
125
0.143963
120
0.143957
107
0.143952
107
0.143947
122
0.143942
118
0.143937
109
0.143931
100
0.143926
95
0.143921
123
0.143916
103
0.143911
118
0.143906
140
0.1439
109
0.143895
102
0.14389
104
0.143885
121
0.14388
110
0.143875
120
0.143869
118
0.143864
114
0.143859
119
0.143854
90
0.143849
111
0.143843
111
0.143838
105
0.143833
119
0.143828
105
0.143823
99
0.143818
96
0.143812
117
0.143807
105
0.143802
108
0.143797
122
0.143792
103
0.143787
118
0.143781
122
0.143776
120
0.143771
121
0.143766
111
0.143761
120
0.143756
104
0.14375
83
0.143745
131
0.14374
89
0.143735
102
0.14373
109
0.143725
96
0.143719
end of experiment
